| 体系的番号 |
JPMJSN04A7 |
| DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJSN04A7 |
| 研究責任者 |
高井 幹夫 大阪大学, 極限量子科学研究センター, 教授
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| 研究期間 (年度) |
2004 – 2007
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| 概要 | 200keV程度の中エネルギーイオンビームを10nm以下に集束したイオンナノプローブを形成し、このイオンナノプローブの局所チャンネリング・後方散乱イオンを飛行時間(TOF)計測します。そのマッピングにより3次元可視化を行い、ナノ領域の不純物同定、元素分布、組成、結晶性、表面界面状態の非破壊計測技術の装置化・実用化を目指します。最終的に、分解能が10nm以下で非破壊3次元分析を可能とするテーブルトップサイズの装置を実現します。 TOF-RBS: Time of Flight-Rutherford Backscattering Spectrometry
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