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非破壊3次元TOF-RBS分析装置の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 先端計測分析技術・機器開発プログラム 一般領域 機器開発タイプ

体系的課題番号 JPMJSN04A7
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJSN04A7
研究責任者 高井 幹夫  大阪大学, 極限量子科学研究センター, 教授
研究期間 (年度) 2004 – 2007
概要200keV程度の中エネルギーイオンビームを10nm以下に集束したイオンナノプローブを形成し、このイオンナノプローブの局所チャンネリング・後方散乱イオンを飛行時間(TOF)計測します。そのマッピングにより3次元可視化を行い、ナノ領域の不純物同定、元素分布、組成、結晶性、表面界面状態の非破壊計測技術の装置化・実用化を目指します。最終的に、分解能が10nm以下で非破壊3次元分析を可能とするテーブルトップサイズの装置を実現します。 TOF-RBS: Time of Flight-Rutherford Backscattering Spectrometry

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2015-09-30   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2023-03-29  

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