高空間分解能蛍光X線分析装置の開発

研究課題

研究責任者	辻幸一大阪市立大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授
研究期間 (年度)	2006 – 2009
概要	非破壊的に大気圧下で元素定量分析ができるという蛍光X線分析法の利点を活かしつつ、X線集光素子を利用することにより微小部での蛍光X線分析装置を開発した。高空間分解能を有する共焦点型の3次元蛍光X線分析装置を試作し、さらに、可搬型X線分析顕微鏡装置の開発にも成功した。