大面積電子デバイス用基盤技術のための大気圧マイクロプラズマ処理装置の開発

研究課題

研究責任者	白井肇埼玉大学, 理工学研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2006 – 2009
概要	液晶・有機電界発光ディスプレイ駆動用薄膜トランジスター(LCD・OLED-TFT)の基盤材料である多結晶シリコン(poly-Si)製造技術として、大気圧高周波熱プラズマトーチを熱源に、プラズマ直下の可動基板上に設置したアモルファスシリコン(a-Si)の結晶化技術を開発した。