有機物被覆複合ナノ粒子量産用パルス細線放電装置開発

研究課題

研究責任者	新原晧一長岡技術科学大学, 工学部, その他
研究期間 (年度)	2005 – 2008
概要	積層セラミックコンデンサー用導電ペースト、ウェットブラスト用スラリーなどに必要とされるナノ粒子を安価かつ大量に作製することが求められている。有機物霧・ミスト中でパルス細線放電法を利用することで、高エネルギー変換効率にてナノ粒子を作製できるシーズを見いだした。本研究では、連続式にてナノ粒子を作製できる装置を開発し、得られたナノ粒子の評価を行うと共に、導電ペーストやウェットブラスト用スラリーなどに適用できる粒子の応用展開を検討した。パルス細線放電法によるナノ粒子の量産化装置のプロトタイプを試作し、粒子生成速度として4Hz周期の放電にて484g/hの性能を実現した。得られた銅ナノ粒子を用いたペーストを用いて、10-4Ωcmの電気抵抗率が得られ、ペーストとしての実用化の可能性が見いだせた。ウェットブラストとしてはレジスト剥離工程への適用可能性も見いだされた。