ナノメートル領域までの表面粗さ測定を向上させる標準面実量器の製作

研究課題

研究責任者	明田川正人長岡技術科学大学, 工学部, 准教授
研究期間 (年度)	2005 – 2008
概要	表面凹凸形状の測定ニーズが線状2次元から面領域3次元へと拡張されるのに伴い、非接触式も含めた種々の表面形状測定器が市場に出現してきた。しかしながら測定原理により得られるデータが異なることが明らかとなり、多種の測定器に対応可能なトレーサブルなランダム面標準実量器および性能検証システムが不可欠となっている。本研究では広い測定領域への対応を意図して、不規則なランダム凹凸波形の離散点量子化データによるソフトゲージデータからNC表面加工システムを構築することで、ランダム面標準実量器を作製した。併せて市販の表面凹凸形状測定器の不確かさ値を同定する手法を検討した。超精密五軸加工機による機械加工により、ソフトゲージデータとの差異が1%以内にて試作できる微細加工技術を確立すると共に、電鋳等の複製技術の検討も行った。電子線描画装置による実量器の試作を行ったが、作製技術および評価手法に課題が残った。