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ナノ加工技術を応用した超高速クロック素子の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 育成研究

研究責任者 川崎 一正  新潟大学, 地域共同研究センター, 准教授
研究期間 (年度) 2005 – 2008
概要微細金型加工技術と共振型VCSEL素子を組み合わせた40GHzの超高速クロック素子を開発するための開発を行った。金型加工技術では、超精密5軸加工機での加工技術を蓄積でき、共振用ミラー金型を形状誤差600nmにて加工することができた。この誤差が工具の摩耗により生じていることも明らかになり、摩耗量をフィードバックすることでさらなる加工精度の向上が可能になる。VCSELとしては39GHzのモード同期を確認すると共に2往復共振技術を発見し、特許出願を行った。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2015-09-30   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2023-01-10  

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