光電子分光法の深さ方向分析用帯電液滴衝撃エッチング装置の開発

研究課題

研究責任者	平岡賢三山梨大学, 学内共同利用施設等, 教授
研究期間 (年度)	2006 – 2009
概要	試作開発した帯電液滴エッチング装置は、有機材料や半導体材料などの深さ方向分析において、試料表面をナノレベルで損傷なくスパッタエッチングできる性能を持ち、当初目標を達成した。このような性能を持つ装置は世界初で、従来の希ガス(アルゴン)単原子イオンエッチング装置では不可能であり、大気圧エレクトロスプレー法による巨大水滴(帯電液滴)クラスターイオンが各種試料表面を衝撃する本方法の優位性が明らかになった。