1. 前のページに戻る

光電子分光法の深さ方向分析用帯電液滴衝撃エッチング装置の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 育成研究

研究責任者 平岡 賢三  山梨大学, 学内共同利用施設等, 教授
研究期間 (年度) 2006 – 2009
概要試作開発した帯電液滴エッチング装置は、有機材料や半導体材料などの深さ方向分析において、試料表面をナノレベルで損傷なくスパッタエッチングできる性能を持ち、当初目標を達成した。このような性能を持つ装置は世界初で、従来の希ガス(アルゴン)単原子イオンエッチング装置では不可能であり、大気圧エレクトロスプレー法による巨大水滴(帯電液滴)クラスターイオンが各種試料表面を衝撃する本方法の優位性が明らかになった。

URL: 

JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2015-09-30   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

サービス概要 よくある質問 利用規約

Powered by NII jst