プラズマナノ科学創成によるプロセスナビゲーション構築とソフト材料加工
研究代表者 |
堀 勝 名古屋大学, 大学院工学研究科, 教授
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| 研究期間 (年度) |
2007 – 2011
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| 概要 | 将来のナノデバイス量産のために、プラズマプロセスを試行錯誤的手法から科学に基づいた手法への質的変換を実現します。そのため、ラジカル・イオン密度、エネルギーのモニタリング技術を有した卓上型コンビナトリアルプラズマ解析装置を創成し、プラズマナノ科学を構築するとともに、科学に基づいたプロセスデータマップによるプロセスナビゲーションという指導原理を確立します。これにより有機ソフト材料の革新的ナノ加工生産技術を確立します。
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| 研究領域 | ナノ科学を基盤とした革新的製造技術の創成 |
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