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0.5Å分解能物質解析電子顕微鏡基盤技術の研究

研究課題

戦略的な研究開発の推進 戦略的創造研究推進事業 CREST

体系的番号 JPMJCR0405
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJCR0405

研究代表者

高柳 邦夫  東京工業大学, 大学院理工学研究科, 教授

研究期間 (年度) 2004 – 2009
概要従来、電子顕微鏡の分解能はレンズの収差により制限されていました。本提案では、照射系と結像系の両方に収差補正レンズを搭載し、冷陰極電界放出型電子銃から出たエネルギーの揃った電子を利用して、水素原子半径に等しい0.05nmの分解能をもつ電子顕微鏡を開発します。これは英米で開発された装置をしのぐ、世界最高の分解能であり、炭素、窒素、酸素などの軽元素の位置や挙動を調べることが可能になります。
研究領域物質現象の解明と応用に資する新しい計測・分析基盤技術

報告書

(2件)
  • 2009 事後評価書 ( PDF )   終了報告書 ( PDF )

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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