体系的番号 |
JPMJCR0405 |
DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJCR0405 |
研究代表者 |
高柳 邦夫 東京工業大学, 大学院理工学研究科, 教授
|
研究期間 (年度) |
2004 – 2009
|
概要 | 従来、電子顕微鏡の分解能はレンズの収差により制限されていました。本提案では、照射系と結像系の両方に収差補正レンズを搭載し、冷陰極電界放出型電子銃から出たエネルギーの揃った電子を利用して、水素原子半径に等しい0.05nmの分解能をもつ電子顕微鏡を開発します。これは英米で開発された装置をしのぐ、世界最高の分解能であり、炭素、窒素、酸素などの軽元素の位置や挙動を調べることが可能になります。
|
研究領域 | 物質現象の解明と応用に資する新しい計測・分析基盤技術 |