ラージスケールナノ精度加工・計測・転写プロセスの構築
| 体系的番号 |
JPMJPR06N8 |
| DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJPR06N8 |
研究代表者 |
三村 秀和 大阪大学, 大学院工学研究科, 助手
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| 研究期間 (年度) |
2006 – 2009
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| 概要 | 数十ミリメートルオーダーのラージスケールにおいて、ナノ精度の表面粗さと形状精度を持つマスターを作製し、それをナノ精度で転写することにより、ナノ精度の形状と表面粗さをもつ表面を量産できる、一連のプロセスを構築することを目的としています。反射型光学素子に飛躍的な性能向上と低価格化をもたらす、革新的なナノ精度表面生産プロセスの構築を目指します。
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| 研究領域 | ナノ製造技術の探索と展開 |
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