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ラージスケールナノ精度加工・計測・転写プロセスの構築

研究課題

戦略的な研究開発の推進 戦略的創造研究推進事業 さきがけ

体系的番号 JPMJPR06N8
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJPR06N8

研究代表者

三村 秀和  大阪大学, 大学院工学研究科, 助手

研究期間 (年度) 2006 – 2009
概要数十ミリメートルオーダーのラージスケールにおいて、ナノ精度の表面粗さと形状精度を持つマスターを作製し、それをナノ精度で転写することにより、ナノ精度の形状と表面粗さをもつ表面を量産できる、一連のプロセスを構築することを目的としています。反射型光学素子に飛躍的な性能向上と低価格化をもたらす、革新的なナノ精度表面生産プロセスの構築を目指します。
研究領域ナノ製造技術の探索と展開

報告書

(1件)
  • 2009 終了報告書 ( PDF )

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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