1. 前のページに戻る

ナノ光リソグラフィーによる金属ナノパターン作製技術の開発

研究課題

戦略的な研究開発の推進 戦略的創造研究推進事業 さきがけ

体系的番号 JPMJPR07N3
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJPR07N3

研究代表者

上野 貢生  北海道大学, 電子科学研究所, 助教

研究期間 (年度) 2007 – 2010
概要シングルナノメートルの加工分解能を有するナノ光リソグラフィー技術を開発し、プラズモニックデバイスやナノ電気回路として動作する金属ナノパターンを作製する技術を確立します。高い光電場増強を示すナノギャップ金構造をフォトマスクとして、近赤外光による局所的なフォトレジストの非線形光反応を誘起し、高分解能リソグラフィーを実現する従来とは異なる動作原理に基づいた光加工技術を開発します。
研究領域ナノ製造技術の探索と展開

報告書

(1件)
  • 2010 終了報告書 ( PDF )

URL: 

JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

サービス概要 よくある質問 利用規約

Powered by NII jst