真空紫外レーザー光発生用非線形光学結晶の開発

研究課題

体系的番号	JPMJCR0743
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJCR0743
研究代表者	佐々木孝友大阪大学, 大学院工学研究科, 特任教授/名誉教授
研究期間 (年度)	2007 – 2013
概要	極微小欠陥検査用光源の短波長化及び長寿命化のために、波長170nm台の真空紫外光発生用光学結晶の育成技術、および紫外レーザー損傷メカニズムの解明を通して長寿命化技術の開発を行います。
研究領域	次世代エレクトロニクスデバイスの創出に資する革新材料・プロセス研究

報告書

(3件)