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複合型走査型非線形誘電率顕微鏡の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 先端計測分析技術・機器開発プログラム 一般領域 機器開発タイプ

体系的課題番号 JPMJSN04AA
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJSN04AA
研究責任者 長 康雄  東北大学, 電気通信研究所, 教授
研究期間 (年度) 2004 – 2008
概要静電容量変化に対する高い感度とサブナノメータの空間分解能を持ち、線形・非線形誘電率の分布が計測可能な走査型非線形誘電率顕微鏡(SNDM)法を発展させ、従来にない高機能複合型SNDMシステムを開発します。この開発により、誘電材料中の分極、半導体中の電荷および高分子や生体の誘電特性とそれらに固定された電荷などが世界最高の性能で可視化できるようになり、種々の材料・素子の評価・分析に大きく貢献します。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2015-09-30   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2023-01-10  

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