| 体系的番号 |
JPMJSN05B1 |
| DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJSN05B1 |
| 研究責任者 |
一村 信吾 (独)産業技術総合研究所, 理事
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| 研究期間 (年度) |
2005 – 2008
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| 概要 | 原子間力顕微鏡(AFM)においては探針の先端形状のわずかな違いが測定結果(観察画像)に大きな影響を与えます。本開発では、先端形状評価用標準試料と評価技術の確立をめざします。化合物半導体成膜技術を応用して、5～100nmの凸凹周期構造と1nmレベルの孤立構造を持つ標準試料を開発し、探針形状の精密測定を可能にします。さらに標準試料による形状補正アルゴリズムを開発して、AFMにおけるナノ測定の定量化、標準化に貢献します。
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