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X線円形多層膜ラウエレンズの開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 先端計測分析技術・機器開発プログラム 一般領域 要素技術タイプ

体系的番号 JPMJSN06B2
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJSN06B2
研究責任者 篭島 靖  兵庫県立大学, 大学院物質理学研究科, 教授
研究期間 (年度) 2006 – 2009
概要超精密成膜技術を用いて、高空間分解能かつ高回折効率のX線円形多層膜ラウエレンズを開発します。従来の電子ビームリソグラフィー法に基づくX線レンズの製作では、いずれの性能もほぼ限界に達しており、ナノメータスケールの非破壊構造観察を実現するには、新しい製作法の導入が不可欠です。10nm以下の空間分解能を有するX線円形多層膜ラウエレンズを開発し、究極の電磁波であるX線自由電子レーザーがもたらすX線画像科学における質的変革の一翼を担います。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2015-09-30   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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