| 体系的番号 |
JPMJSN06B7 |
| DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJSN06B7 |
| 研究責任者 |
持地 広造 兵庫県立大学, 大学院工学研究科, 教授
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| 研究期間 (年度) |
2006 – 2009
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| 概要 | 数千個以上の気体原子で構成される巨大ガスクラスターイオンを一次イオンに利用し、照射損傷の極めて小さい二次イオン質量分析(SIMS)の基本技術を開発します。ガスクラスターイオンの構成原子数と加速電圧を制御することにより、構成原子あたりの運動エネルギーを1eV以下まで低下できるとともに、2次イオン生成率を従来の単原子イオン照射に比べて1～2桁増大させることができます。これらの特長を利用して、有機物分子構造の非破壊計測や1原子層の分解能で深さ方向分析が可能な高性能クラスターSIMSの実現を目指します。
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