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高精度高分解能荷電粒子撮像素子の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 先端計測分析技術・機器開発プログラム 一般領域 要素技術タイプ

体系的課題番号 JPMJSN06B8
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJSN06B8
研究責任者 圦本 尚義  北海道大学, 大学院理学研究院, 教授
研究期間 (年度) 2006 – 2008
概要荷電粒子を高精度・高分解能で2次元検出する技術はイオン顕微鏡や電子顕微鏡において必要不可欠であり、また、質量分析、電子線分光・回折においても有用です。本開発では分光・投影した荷電粒子の二次元イメージを空間分解能10μmで検出できる半導体素子を開発します。この半導体検出器は二次電子放出の原理を利用し分解能あたり数10万個分までの荷電粒子を電荷として蓄積します。この蓄積電荷を統計誤差の定量性で読み出す技術も確立します。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2015-09-30   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2023-03-29  

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