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SOI 技術による時間・空間X 線イメージセンサー

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 先端計測分析技術・機器開発プログラム 一般領域 要素技術タイプ

体系的番号 JPMJSN07B2
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJSN07B2
研究責任者 新井 康夫  高エネルギー加速器研究機構, 素粒子原子核研究所, 教授
研究期間 (年度) 2007 – 2010
概要従来、放射線検出用SiとLSI用Siとは特性が異なることから、一体化させることが難しかったが、貼合せSOI(Silicon-On-Insulator)の登場により一体化が可能になりました。本課題では、SOI下部Siにp-n接合センサーを形成し、上部 CMOS回路と接続することにより、高分解能の2次元X線イメージセンサー(~50um角/pixel、256x256画素程度)を開発します。一体化により高感度、高速処理、低価格化が期待できると共に、各ピクセルに計数回路を持たせる事により、反応の計数/時間測定 /エネルギー測定を同時に行なえると共に、計数回路をメモリーとして使用する事で超高レートの測定にも使用出来ます。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2015-09-30   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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