酸化亜鉛系薄膜成長用MOCVD装置の開発

研究課題

研究責任者	藤田恭久島根大学, 総合理工学部, 教授
研究期間 (年度)	2005 – 2008
概要	酸化亜鉛は次世代のLED材料として期待されている。本プロジェクトでは単結晶薄膜を工業的に生産できる装置の開発を目指して産学官連携で試作と評価を行い、高品質で均一性の優れた酸化亜鉛系薄膜を安全に成長できる有機金属気相成長(MOCVD)装置、原料ガス供給装置、排ガス処理装置を開発した。