耐摩耗性向上を目指した新規熱プラズマCVD法によるTiN−基板上への硬質酸化物コーティングの技術開発

研究課題

研究代表者	清野肇北海道大学, 大学院工学研究科, 助手
研究期間 (年度)	2007
概要	金属切削工具への耐摩耗性と高温特性の付与を目的に,水蒸気噴霧熱プラズマCVD法を用いTiN-酸化物から構成される二層コーティング膜の作製技術を確立する.