固体電解質膜作製のためのドライプロセス技術の開発

研究課題

研究代表者	阿部良夫北見工業大学, 工学部機能材料工学科, 教授
研究期間 (年度)	2007
概要	電子機器の超小型エネルギー源として期待される薄膜バッテリーや薄膜スーパーキャパシタには、高イオン伝導性の固体電解質膜が必須である。本研究では、代表的なドライプロセス技術であるスパッタリング法において、水蒸気を反応ガスとして用いることで、プロトン伝導性のTa2O5固体電解質膜を作製する。