銀薄膜微細構造の作製とサイズ効果の検討

研究課題

研究代表者	川村みどり北見工業大学, 工学部機能材料工学科, 助教授
研究期間 (年度)	2007
概要	現在の銅配線において、線幅の減少に伴う急激な配線抵抗の増大が問題視されている。一方、銀は金属中で最も低抵抗であり、またEM耐性も優れるとの研究報告例もあるが、未だ新規配線材料として現実味を帯びていないのが現状である。本課題では、銀配線構造を作製し、その抵抗率と線幅との関係の調査を目的とする。