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銀薄膜微細構造の作製とサイズ効果の検討

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

川村 みどり  北見工業大学, 工学部機能材料工学科, 助教授

研究期間 (年度) 2007
概要現在の銅配線において、線幅の減少に伴う急激な配線抵抗の増大が問題視されている。一方、銀は金属中で最も低抵抗であり、またEM耐性も優れるとの研究報告例もあるが、未だ新規配線材料として現実味を帯びていないのが現状である。本課題では、銀配線構造を作製し、その抵抗率と線幅との関係の調査を目的とする。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-25   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2023-03-29  

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