プラズマ酸化処理と片面極薄成膜による高分解能磁気力顕微鏡探針の開発

研究課題

研究代表者	齊藤準秋田大学, 工学資源学部附属環境資源学研究センター, 教授
研究期間 (年度)	2007
概要	磁気力顕微鏡(MFM)の空間分解能向上に必須となる高分解能磁気力顕微鏡探針の開発を目的とし、市販探針(分解能:数十nm)を上回る10nm 以下の分解能を有するMFM探針の試作・評価を行う。本研究では、1)先鋭Si探針の表面にプラズマ酸化によりSiO2膜を均一形成させた後に、2)優れた磁石特性を有するFe Pt膜を探針片面に極薄形成させて熱処理を施すことで、生産性に優れた高分解能探針の実用化を目指す。