変形可能なガラス基板上へのダブルゲート微結晶Si TFTを利用したインバータの試作

研究課題

研究代表者	原明人東北学院大学, 工学部電子工学科, 助教授
研究期間 (年度)	2007
概要	変形可能なガラス基板上にプラナー型自己整合メタルダブルゲート微結晶Si 薄膜トランジスタ(TFT)を形成し、移動度50cm2/Vs の低温 poly-Si TFT に匹敵する電流駆動能力を有するTFT を低コストで実現することを目指す。さらに回路の基本となるインバータを試作してその特性・性能を把握する。