ナノパルスレーザを用いた単結晶Ge加工変質層の完全修復技術の開発

研究課題

研究代表者	閻紀旺東北大学, 大学院工学研究科ナノメカニクス専攻, 助教授
研究期間 (年度)	2007
概要	本試験では、パルス幅が数ナノ秒の Nd:YAG レーザ第2高調波を加工面に1回照射するだけでGe加工変質層における相変態や転位などを一括して完全な単結晶構造に修復する技術を開発することを目的とする。具体的には、単発レーザ照射による深さ方向の結晶構造変化および変質層除去特性の検討、面方向の変質層修復特性および最適照射条件の検討を行なう。