枚葉式スピン洗浄装置用完全純水駆動ウォータドライブスピンテーブルの開発

研究課題

研究代表者	中尾陽一神奈川大学, 工学部, 教授
研究期間 (年度)	2007
概要	ウォータドライブスピンテーブルは,回転テーブルが純水の圧力によって浮上するため,テーブルとケーシングは完全非接触となる.しかも,本装置は,純水のエネルギーを利用してテーブルを回転させる構造を有するため,電動機や伝導要素が不要である.ウォータドライブスピンテーブルの主たる用途は,特に,線幅45 nm以下のシリコンウエハーの洗浄に必要不可欠と考えられている,枚葉式スピン洗浄装置用スピンテーブルである.