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大口径シリコンウェーハの形状測定技術の確立

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

夏 恒  東京農工大学, 大学院共生科学技術研究院, 助教授

研究期間 (年度) 2007
概要本研究課題は、大口径シリコンウェーハの形状測定技術を確立することを目的とする。大口径ウェーハは測定時の支持によって変形するので、形状測定の再現性が低く、満足できる測定技術が未だに確立されていない。そこで、大口径シリコンウェーハの測定において避けては通れない非測定物の変形問題と、低い測定再現性の原因を明らかにし、ウェーハの変形量をFEM解析で求め、補正によりサブミクロン精度の形状測定を実現する。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-25   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2022-05-09  

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