大口径シリコンウェーハの形状測定技術の確立

研究課題

研究代表者	夏恒東京農工大学, 大学院共生科学技術研究院, 助教授
研究期間 (年度)	2007
概要	本研究課題は、大口径シリコンウェーハの形状測定技術を確立することを目的とする。大口径ウェーハは測定時の支持によって変形するので、形状測定の再現性が低く、満足できる測定技術が未だに確立されていない。そこで、大口径シリコンウェーハの測定において避けては通れない非測定物の変形問題と、低い測定再現性の原因を明らかにし、ウェーハの変形量をFEM解析で求め、補正によりサブミクロン精度の形状測定を実現する。