先進ナノ有機薄膜のための高感度力学特性計測技術の開発

研究課題

研究代表者	金成守康茨城工業高等専門学校, 茨城工業高等専門学校電子制御工学科, 助教授
研究期間 (年度)	2007
概要	本研究の目的は、厚さ数百ナノメートルの有機半導体などの軟質先進ナノ有機薄膜の力学特性を、数ナノメートルの分解能で高感度かつ高精度に計測できる新規な圧子押込み硬さ試験機に関して、その計測技術を確立することである。期間内に、すでに開発した計測部を基に試験機を試作して、標準的なナノ有機半導体薄膜について押込み試験を行い、実用化のための測定精度を検証し計測技術に関するノウハウを蓄積することが目標である。