高分解能走査型ミリ波サーモグラフィーの開発

研究課題

研究代表者	莅戸立夫富山大学, 大学院理工学研究部(工学), 准教授
研究期間 (年度)	2007
概要	近年、医療、電子デバイス、材料評価等の様々な研究開発分野において測定技術のレベルアップが不可欠な状況の中で、物体の温度分布測定や微細形状の画像化をより高分解能で実施可能なシステムの開発が要望されている。本課題は、代表研究者が開発を実施してきた高分解能での画像化が可能なミリ波帯走査型近接場顕微鏡技術を利用して、従来の赤外線サーモグラフィーよりも空間分解能及び温度分解能において遙かに上回る性能を有する高分解能走査型ミリ波サーモグラフィーの実用化を目指すものである。本研究の最終目標が達成されれば、従来実施出来なかった細胞表面の温度分布計測による細胞の新陳代謝に関する研究、微小半導体デバイスの温度分布計測による熱的設計等の微少領域を対象とする様々な分野において極めて有用な情報が得られ、当該分野の研究開発が格段に進展する事が予想される。