MEMS技術を応用した磁気嵐式ガスレートジャイロセンサの研究開発

研究課題

研究代表者	小幡勤富山県工業技術センター, 中央研究所, 主任研究員
研究期間 (年度)	2007
概要	本研究は、これまで研究代表者が研究してきたMEMS 慣性センサに、小型で高精度な新しい検出方式によるガスレートジャイロ機能を加え、高機能慣性センサを開発するものである。通常、角速度を検出するためには、検出素子部を振動させるあるいは、ポンプでガス流を作りコリオリ力による流れ方向の変化を検出するなどの必要がある。本研究では、世界で初めて磁気嵐現象を応用したガスレート式ジャイロ機能をもつ慣性センサを研究開発する。センサに常磁性を持つガスを封入し磁界を加えることにより、気体の流れを作りだす。磁力に引き寄せられたガスは、ガス質量流量を検出するフローセンサ上を通過する。その時、暖められたガスは磁性を失うため、センサの中を流路にそって移動し循環し続ける。コリオリ力が発生すると、フローセンサ上の気体密度にアンバランスが生まれるため、角速度が検出可能になる。また、ジャイロセンサは、加速度センサと組み合わせることで、多軸モーションセンサとしてのアイテムを最終目標としている。