研究代表者 |
會澤 康治 金沢工業大学, 工学部, 准教授
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| 研究期間 (年度) |
2007
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| 概要 | 申請者は、強誘電体薄膜を探針先端に形成した焦電型センサを用いて、ナノ領域までの熱分布測定が可能な赤外線顕微鏡を考案した。赤外線顕微鏡に用いられる従来型の赤外線センサは平面上に形成されるのに対して、考案したセンサの新規性は、導電探針先端に形成された強誘電体薄膜を使うことで、先端径程度(最小数十nm)に限定された領域の赤外線を焦電効果を用いて検出するところにある。またこのセンサはMEMS などに使われる加工技術によってアレイ上に多数形成することも可能であり実現の可能性は高い。本課題では、金属探針先端に形成した強誘電体薄膜の焦電センサーとしての諸特性と、これを用いた生体試料等の赤外線測定まで視野に入れて研究を行う。
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