| 概要 | 近年、多くの分野でオイルフリーの摺道面が求められている。空気軸受により、オイルフリーで0.01 以下の低摩擦と良好な耐摩耗性が実現可能である。しかし、すべり軸受に比べて負荷容量が小さく、油軸受と比較して軸受剛性が低いという欠点がある。そのため、固体潤滑剤を用いたすべり軸受による超低摩擦軸受の開発が期待される。しかし、従来の固体潤滑剤では軟質であるため耐摩耗性が乏しく、硬質で耐摩耗性を有し、かつ、0.01 以下の油潤滑並の超低摩擦を有する材料が、高剛性・超低摩擦の実現のために必要である。代表研究者は、1998 年にイオンビームミキシング法により理論的にはダイアモンドと同程度の硬さを有するというCNx を成膜し,実験室のピンオンディスク試験で、その窒素吹き付け中における超低摩擦現象を発見した.既に、ピンオンディスク試験による実験室レベルでの超低摩擦の発現と耐久性に関しては実証されている。しかし、実際の実用を待たれる工作機械の摺道面への適用が可能かは不明である。工作機械においては,超低摩擦が広い速度範囲で発現することが重要であり,かつ加工精度を保つため,摺道面の隙間が速度に依存せず一定であることを確保することが必要である.そこで、本研究では、CNx 膜を成膜したスラスト軸受により,工作機械ど同等のすべり条件を与え,工作機械の摺道面として適用可能であることを実証する.
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