| 概要 | フッ素含有DLC(Diamond-Like Carbon)は,DLC の高硬度・低摩擦・低摩耗といった良好な機械特性に加え,フッ素に起因する低表面エネルギー面を形成するため,次世代のDLC と期待されている.具体的には,撥水膜,医療デバイスと生体材料との付着を抑制する膜,射出成形金型と樹脂成型品との離型性を向上する膜,などへの応用が期待されている.従来フッ素含有DLC はCF4やC6F6 等のCF 系ガスと炭化水素系ガスなどの反応性ガスを用いたプラズマCVD により合成が試みられてきた.しかしながらこれらのガスは有毒性や可燃性ゆえに取り扱いが難しく,従ってガスラインの重厚化によって合成装置が複雑・高価になるという問題があり,フッ素含有DLC の普及をも妨げてきた.よって本研究では,一般に反応性ガスを必要としないPVD 法のような管便さを備えた新しいプラズマCVD 法を用い,フッ素含有DLC を成膜する.
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