プラズマ溶射法による窒化アルミニウム皮膜作製技術の開発

研究課題

研究代表者	山田基宏豊橋技術科学大学, 生産システム工学系, 助教
研究期間 (年度)	2007
概要	窒化アルミニウム(AlN)はハロゲンプラズマへの耐食性や高熱伝導性など極めて優れた特性を持ち、特にその溶射皮膜は半導体製造装置のエッチングチャンバー内壁の保護用途を始めとして、多くの潜在的需要がある。しかし、このAlN は、溶融状態になる前に熱分解してしまうため、これを溶射で作製することは不可能とされてきた。当然成功例も報告されていない。これに対し、本研究では?原材料を工夫し、機械的混合法(MA)法により微細均一に混合したAl-AlN 複合粉末を用い、その最適条件を明らかにする、?溶射方法として窒素プラズマとの反応を利用した反応性プラズマ溶射法を適用し、この溶射条件を最適化する、以上の点を詳細に検討することで、最終的に?実用的なAlN 溶射皮膜の作製技術を確立するものである。