フィルタードアークプラズマビームによる細管内壁へのスーパーDLCコーティング

研究課題

研究代表者	滝川浩史豊橋技術科学大学, 工学部電気・電子工学系, 教授
研究期間 (年度)	2007
概要	燃料インジェクションノズル,樹脂成形ノズル,あるいは造糸ノズルなどでは,細管内に摺動性耐磨耗コーティングを施すことが望まれている。摺動性耐磨耗コーティングとしては,無潤滑で摩擦抵抗が極めて低く,高硬度で,かつ,相手攻撃性が低いダイヤモンドライクカーボン(DLC; Diamond-LikeCarbon)膜が望まれている。本研究では,磁界によって制御したビーム性高純度カーボンプラズマを用いて,細管内にDLC 薄膜を形成する技術を確立する。