| 概要 | 走査型プローブ顕微鏡の一種である摩擦力顕微鏡は,ナノメートル分解能で摩擦特性分布の可視化を可能とし,ナノ摩擦・摩耗・潤滑現象の解明,および複合材料の構成材料分布の可視化など,学術・産業両分野で広く用いられている.しかし,従来のカンチレバー形(矩形)プローブでは,構造上の問題から,摩擦特性の定量評価に必須な水平力(摩擦力)と鉛直力(荷重)の精密測定が原理的に困難であった.本研究では,二方向に独立変形可能な全く新規な構造のマイクロ・メカニカルプローブを開発し,定量測定可能な摩擦力顕微鏡を実現する.
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