マイクロエレクトロメカニカルシステムデバイス用非鉛系圧電体薄膜の開発

研究課題

研究代表者	坂本渉名古屋大学, エコトピア科学研究所, 准教授
研究期間 (年度)	2007
概要	本試験研究では、環境に優しい簡便かつ低コストな化学的手法により、これまで非常に困難とされてきたマイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)デバイス用非鉛系圧電体薄膜開発し、発現する諸特性を正しく評価して実用化への問題点と対策を明らかにすることを目的とする。ここでは、望む機能を達成するために重要な非鉛系圧電体組成の前駆体溶液設計、実用化を見据えた基板材料への直接作製および半導体プロセスに適応可能な熱処理条件(従来のバルク材料よりも大幅に低温化)など作製条件の最適化、さらに圧電変位量向上のための結晶成長方位制御をも達成するシーズ発掘試験研究を目指す。