MEMS技術を用いた微小材料の熱物性測定デバイスの開発

研究課題

研究代表者	宇野真由美大阪府立産業技術総合研究所, 情報電子部電子・光材料系, 研究員
研究期間 (年度)	2007
概要	MEMS技術を用いて、数mm～数100mm程度の微小試料の熱伝導率や比熱等の熱物性値を測定するためのデバイスを開発する。近年、基礎研究、産業応用の両面において非常に重要な意味をもつ新奇な有機材料や生体材料等が提案されているが、試料が微小であり熱物性値の測定が困難である。そこで、本研究では(1)高断熱構造による熱測定MEMSデバイスの高性能化、(2)実用化に向けた試料装着手法の開発、を行い、微小材料の熱物性値の精密測定が可能な新規MEMSデバイスを世界に先駆けて開発することを目標とする。