PBII法を用いたNIL用高硬度・高剥離性を有するF-DLCモールドの開発

研究課題

研究代表者	神田一浩兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 助教授
研究期間 (年度)	2007
概要	ナノインプリントリソグラフィー(NIL)は、数十nmスケールのパターンを容易・低コストで形成できるために、LCD部材・燃料電池などの様々な先端産業分野で注目を集めている。本課題はこれまでNILの量産化にネックとなっていた耐摩耗性と高剥離性を満足するモールド離型材の決定版として、Plasma-Based Ion Implantation(PBII)法により、フッ素を含有したダイヤモンドライクカーボン(F-DLC)を用いるモールドの開発を行う。