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高出力軟X線用酸化物多層膜結晶ミラーの開発に係る試験研究

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

熊谷 寛  大阪市立大学, 大学院工学研究科, 教授

研究期間 (年度) 2007
概要代表研究者は軟X線顕微鏡のターゲット波長である、いわゆる「水の窓」域(2.332nm~4.368nm)で極めて高反射率が期待できる、酸化物アモルファス多層膜構造の軟X線ミラーを既に開発してきたが、さらに最近になって、酸化物の中でもTiO/NiO多層膜構造を選択することで、50%を超える反射率が得られるばかりでなく、ヘテロエピタキシャル成長による結晶多層膜ミラーが開発できることを発案した。本課題においてはTiO結晶、NiO結晶の原子層成長条件を調べ、その条件をもとに高出力軟X線用TiO/NiO多層膜結晶ミラーを設計、開発し、さらに評価を行うことを目標とする。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-25   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2023-01-10  

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