1. 前のページに戻る

触媒微細構造制御による多結晶シリコン膜の結晶核密度制御と高品質・低温形成技術

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

古田 守  高知工科大学, 総合研究所, 助教授

研究期間 (年度) 2007
概要多結晶シリコンは、ディスプレイ用薄膜トランジスタや薄膜太陽電池といった情報通信・環境エネルギー技術に不可欠な材料である。本研究は、金属誘起結晶化(MIC)による多結晶シリコン薄膜の固相成長において、触媒金属の微細構造制御によるシリコン結晶核密度制御と、多結晶シリコン薄膜の大粒径化に関する研究である。本研究の結晶化技術は、多結晶シリコンを活性層に用いた高性能薄膜トランジスタや太陽電池への応用を目的とするものである。

URL: 

JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-25   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2023-01-10  

サービス概要 よくある質問 利用規約

Powered by NII jst