半導体レーザによるコンパクトな200nm領域波長可変深紫外線光源の開発

研究課題

研究代表者	野中弘二高知工科大学, 工学部フロンティア工学コース, 教授
研究期間 (年度)	2007
概要	電子部品のプロセスや水環境殺菌に用いられている200nm近傍の極短深紫外線の発生は、ランプなど面出力は大きいが集光や低波長品質のインコヒーレント光の大規模装置が主流である。今後の分子分光・細胞改質など顕微鏡と合わせたナノ計測・プロセスには、ねらったポットに集光が可能で波長可変・コヒーレンスでコンパクトな高品質光源が必用だ。代表者は安価でコンパクトな青色LDと光非線形現象による高品質・小スポットの深紫外発生を提案してきた。本研究でコンパクト性を維持しながら出力の実用レベルへの向上と波長の可変性の広帯域化を実現し、ナノ分光光源としての実用可能性を検証する。