超電導軸受式ターボ分子ポンプの開発

研究課題

研究代表者	小森望充九州工業大学, 機能システム創成, 教授
研究期間 (年度)	2007
概要	本応募課題では,この磁気軸受式ターボ分子ポンプに代わるものとして,高温超電導軸受式ターボ分子ポンプの提案を行う。この超電導軸受式ターボ分子ポンプでは,タービン翼浮上のため取り扱いが容易な高温超電導軸受を用い,到達圧力10-7Paオーダを目指す。本応募課題では,ねじ溝ロータを高温超電導軸受および永久磁石軸受によって非接触浮上および高速回転させる超電導軸受式ターボ分子ポンプの提案を行い,その実用化への基礎研究を行う。