高感度ホットスポット酸素センサの作製と評価

研究課題

研究代表者	野地英樹都城工業高等専門学校, 電気工学科, 准教授
研究期間 (年度)	2007
概要	本試験研究は、高信頼性および高汎用性を併せ持つ唯一の酸素センサとして、バイオテクノロジーなどの先端産業において実用化が期待されている、ホットスポット酸素センサ(HS酸素センサ)の実用化を目指した研究である。既存の作製方法ではセンサの溶断等により耐久性に劣り実用化されていなかった。本研究では、HS酸素センサの作動時間を延長する作製方法の確立を目的とした新規作製法開発を行うものである。