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ガラス基板上への2軸配向シリコン薄膜の作製手法の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

土井 俊哉  鹿児島大学, 工学部, 助教授

研究期間 (年度) 2007
概要本研究では,液晶ディプレイや有機ELなどのフラットパネルディスプレイ上に,プロセッサやメモリなどの動作速度の速い回路を搭載するために必要な単結晶シリコン薄膜をガラス基板上に作製する技術の開発を行う.ガラス基板上にイオンビームを特定の方向から照射しながら,バッファ層を形成することで単結晶のように結晶方位が3軸とも揃った2軸配向膜を形成し,その上にシリコンをエピタキシャル成長させることで単結晶のような2軸配向膜シリコン薄膜を得る.

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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