電気光学素子を用いた高精度3次元計測装置の開発に関する研究

研究課題

企業責任者	株式会社大阪光科学技術研究所
研究期間 (年度)	2005 – (非公開)
概要	高密度・微細化する半導体やフラット表示パネルや金属・樹脂精密製品の高スループット代替生産技術が創出されつつある中で、ワークの画像認識・識別による画像検査技術の精密化が求められているが、従来の3次元計測装置は機械駆動部に依存しているので、騒音・振動による精度低下、磨耗劣化による低い耐久性、連続画像計測システムの構築の困難さが問題であった。これまでの研究で、これらの問題は電気光学素子を用いた高速無可動機構による3次元計測技術によって解決できた。このような背景から本研究では、従来のレーザ走査型共焦点光学装置の1/5～1/10程度の小型軽量化を最終目的とし、CCD並のフレームレートとレーザ走査の超高解像力を持つ3次元計測技術を開発する。