環境に優しい産業機械部品化のための高密度ナノ炭素膜の開発

研究課題

研究責任者	石川県工業試験場, 機械金属部, 専門研究員
研究期間 (年度)	2007 – 2010
概要	金属材料が過酷な条件で摺動し合う部品は、低摩擦係数、耐剥離性、表面平滑性、高寿命化が要求される。このような用途に対し、従来のDLC膜では対応できなく、さらなる高密度化を実現した膜の開発が急務である。本研究開発では、膜中の水素含有量を制御した高密度ナノ炭素膜を開発し、自動車部品、工具部品、光学レンズ成形金型の各アプリケーションに対応させ、プログラム終了後の受託加工事業および装置販売を実現するものである。